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发明名称 POLIERZUSAMMENSETZUNG FÜR SILIZIUMSCHEIBE UND VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69612001(D1) 申请公布日期 2001.04.12
申请号 DE19966012001 申请日期 1996.05.30
申请人 RODEL, INC. 发明人 LONCKI, B.;COOK, MELBOURNE;SHEN, JAMES;PIERCE, G.
分类号 B24B1/00;B24C1/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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