发明名称 |
Plaquette à gravure comprenant des circuits optoélectroniques et procédé de vérification de cette plaquette. |
摘要 |
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申请公布号 |
CH691097(A5) |
申请公布日期 |
2001.04.12 |
申请号 |
CH19970000345 |
申请日期 |
1997.02.17 |
申请人 |
EM MICROELECTRONIC-MARIN SA |
发明人 |
GRANDJEAN ANDRE;KUNZ PASCAL |
分类号 |
H01L21/66;G01R31/28;H01L27/14;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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