发明名称 Plaquette à gravure comprenant des circuits optoélectroniques et procédé de vérification de cette plaquette.
摘要
申请公布号 CH691097(A5) 申请公布日期 2001.04.12
申请号 CH19970000345 申请日期 1997.02.17
申请人 EM MICROELECTRONIC-MARIN SA 发明人 GRANDJEAN ANDRE;KUNZ PASCAL
分类号 H01L21/66;G01R31/28;H01L27/14;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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