发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PRODUCTION OF PLANE-PARALLEL WAFERS
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich somit auf eine Vorrichtung zum Erzeugen von planparallelen Plättchen mit einem um eine Achse drehbaren Träger, einer Einrichtung zur Beschichtung eines Flächenabschnitts des Trägers mit zumindest einer Produktschicht, einer Einrichtung zum Ablösen der Produktschicht von dem Flächenabschnitt des Trägers in einer solchen Weise, daß planparallele Plättchen entstehen, wobei der Transport des Flächenabschnitts zwischen der Beschichtungseinrichtung und der Ablöseeinrichtung durch Rotation des Trägers erfolgt. Dabei kann eine Einrichtung zum Beschichten des Trägers mit einer Trennmittelschicht vor dem Aufbringen der Produktschicht vorgesehen sein. In der Ablöseeinrichtung wird die Trennmittelschicht aufgelöst und werden die planparallelen Plättchen freigesetzt.</p>
申请公布号 WO2001025500(A1) 申请公布日期 2001.04.12
申请号 DE2000002419 申请日期 2000.07.25
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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