| 主权项 |
1.一种废气处理系统之易燃气体侦测装置追加一, 半导体在制造过程中,其所产生之废气系利用输送 管路输送至废气处理系统中处理,该易燃气体侦测 装置系设于废气处理系统之废气主管路上,包括: 一废气导管,具有第一端和第二端,该废气导管之 第一端系连接于废气处理系统之废气主管路上; 一燃烧反应室,具有一进气口和一排气口,该进气 口系与废气导管之第二端相连接,该燃烧反应室内 部设有一点火器; 一温度感应器,系设于燃烧反应室内部;以及 一阀门,系为电磁式三通阀并分别与废气主管路、 废气导管之第一端以及外界相连接; 其特征在于该易燃气体侦测装置更包括: 一燃烧感知器,该燃烧感知器系为一管状结构,其 内部装设有复数个感应点,该燃烧感知器系设于废 气主管路上,该燃烧感知器可以输送废气且其上之 感应点可以感应到气体是否发生燃烧并发出讯号; 一气阀组,系设于废气主管路之上并介于输送主管 路与燃烧感知器之间,当气阀组开启时废气可以在 废气主管路中输送,当气阀组关闭时可以将废气阻 隔以阻止废气的输送;以及 一控制器,系分别与燃烧感知器之感应点以及气阀 组相连接,该控制器可以接收感应点发出之讯号并 控制气阀组的开启与关闭; 当废气在废气主管路中发生燃烧时,燃烧感知器上 之感应点将感应到废气燃烧所发出之光线,并将讯 号传递至控制器,控制气阀组将废气主管路关闭并 注入二氧化碳降温与稀释易燃气体,以避免废气继 续的燃烧。2.如申请专利范围第1项所述之废气处 理系统之易燃气体侦测装置追加一,其中燃烧感知 器内部之感应点其设置之位于,系以靠近输送管路 处为最佳。3.如申请专利范围第1项所述之废气处 理系统之易燃气体侦测装置追加一,其中上述感应 点系利用光纤管路将讯号传递至控制器。4.如申 请专利范围第1项所述之废气处理系统之易燃气体 侦测装置追加一,其中该易燃气体侦测装置更包括 一手动阀,设于废气主管路上介于输送管路与气阀 组之间。5.如申请专利范围第1项所述之废气处理 系统之易燃气体侦测装置追加一,其中该燃烧感知 器系以设于废气导管与输送管路之间为最佳。图 式简单说明: 第一图系习知技术之危险性气体侦测装置示意图 。 第二图系原母案之废气处理系统之易燃气体侦测 装置示意图。 第三图系本追加发明之废气处理系统之易燃气体 侦测置追加一示意图。 |
