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发明名称 INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 EP1090268(A1) 申请公布日期 2001.04.11
申请号 EP19990939801 申请日期 1999.06.09
申请人 STICHTING VOOR DE TECHNISCHE WETENSCHAPPEN 发明人 KLAVER, RENATUS, GERARDUS
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/245;G01B11/255;G01M11/02;G03F7/20;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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