| 发明名称 |
Effusion cell for Si and molecular beam epitaxy system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0861928(B1) |
申请公布日期 |
2001.04.11 |
| 申请号 |
EP19980101552 |
申请日期 |
1998.01.29 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED |
发明人 |
YAMAMOTO, TAKATOSHI |
| 分类号 |
C30B23/06;C30B23/08;C30B29/06;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/06;C30B23/02 |
主分类号 |
C30B23/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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