| 发明名称 | 低电阻率的钽 | ||
| 摘要 | 提供一种具有约15微欧姆－厘米或更低的电阻率的α相的钽,而且,所述钽特别适合用作铜以及铜合金互连线的阻挡层。 | ||
| 申请公布号 | CN1290940A | 申请公布日期 | 2001.04.11 |
| 申请号 | CN00119910.2 | 申请日期 | 2000.06.30 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | E·C·库尼三世;C·E·乌佐 |
| 分类号 | H01B1/02;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/532 | 主分类号 | H01B1/02 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 段承恩 |
| 主权项 | 1．α相的钽，其具有约15微欧姆-厘米或更低的电阻率。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||