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发明名称 Tantalum oxynitride capacitor dielectric
摘要
申请公布号 GB2355113(A) 申请公布日期 2001.04.11
申请号 GB20000015318 申请日期 2000.06.22
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 KEE JEUNG * LEE;IL KEOUN * HAN;HONG SEON * YANG
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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