| 发明名称 | 光敏性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 一种光敏性树脂组合物,其中包含下列组份:(a)一个在其结构中具有1,2－二叠氮基萘醌结构和由两个或更多甲基取代的酚衍生物所组成的亚甲桥结构的光敏剂;(b)一个兼具有羟基和羧基的聚合物,或一个具有羟基的聚合物和一个具有羧基的聚合物的结合物;(c)一个可使羟基和羧基交联的交联剂;(d)一种溶剂。这种组合物能形成高透明度的薄膜,而且当将其用作光致抗蚀剂时,能获得具有高对比度的图形。 | ||
| 申请公布号 | CN1291302A | 申请公布日期 | 2001.04.11 |
| 申请号 | CN99803022.8 | 申请日期 | 1999.12.22 |
| 申请人 | 克拉瑞特国际有限公司 | 发明人 | 栗崎穗;原田隆正;工藤隆范;武田贵志;福泽纯一 |
| 分类号 | G03F7/022;G03F7/023;G03F7/004;H01L21/027 | 主分类号 | G03F7/022 |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1. 一种光敏性树脂组合物，其中包含下列组份：一个在其结构中具有1，2-二叠氮基萘醌结构和由两个或更多甲基取代的酚衍生物所组成的亚甲桥结构的光敏剂；一个兼具有羟基和羧基的聚合物，或一个具有羟基的聚合物和一个具有羧基的聚合物的结合物；一个可使羟基和羧基交联的交联剂；一种溶剂。 | ||
| 地址 | 瑞士穆滕茨 | ||