DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING THE QUALITY OF MICRODROPLETS DEPOSITED ON A SUBSTRATE

摘要

Eine Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von auf ein Substrat (2) aufgebrachten Mikrotröpfchen (4) umfasst eine Lichtquelle (10) zum Beleuchten des Substrats (2), auf das die Mikrotröpfchen (4) aufgebracht sind. Eine Bilderzeugungseinrichtung (12) ist vorgesehen, um das von der Lichtquelle (10) erzeugte, durch das Substrat (2) gefallene oder von dem Substrat reflektierte Licht aufzunehmen, um ein Bild zu erzeugen. Ferner ist eine Einrichtung zur Analyse des erzeugten Bilds hinsichtlich aufgrund eines Linseneffekts von auf das Substrat (2) aufgebrachten Mikrotröpfchen (4) erzeugten Mustern in dem Bild vorgesehen.