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发明名称 SUPERCONDUCTING THIN FILM AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH02217462(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890038002 申请日期 1989.02.17
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS KK 发明人 OZAWA FUKUJIROU
分类号 C04B41/89;C01G1/00;C23C14/08;C23C28/04;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C04B41/89
代理机构 代理人
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