光致发光光谱扫描成像仪

摘要

本发明涉及一种光致发光光谱扫描成像仪，由计算机及控制电路、激光源、聚焦透镜、反射镜、扫描台、吸盘、真空泵、光谱仪和显示器组成。聚焦透镜和反射镜置于激光器和扫描台之间，聚焦透镜置于光谱仪与反射镜之间，计算机及控制电路置于显示器与光谱仪之间，扫描台由步进马达驱动，吸盘固定在扫描台上，真空泵与吸盘相连。本发明的成像仪在线测量和显示样品发光峰的积分强度、峰位和半高宽，以控制外延片的生产质量，提高成品率。

主权项

1、一种光致发光光谱扫描成像仪，其特征在于该成像仪由计算机及控制电路、激光源、聚焦透镜、反射镜、扫描台、吸盘、真空泵、光谱仪和显示器组成；所述的激光源包括电源和激光器，聚焦透镜和反射镜置于激光器和扫描台之间，聚焦透镜置于光谱仪与反射镜之间，计算机及控制电路置于显示器与光谱仪之间，扫描台由步进马达驱动，吸盘固定在扫描台上，真空泵与吸盘相连：所述的计算机及控制电路包括步进电机驱动电路和控制程序软件，步进电机驱动电路由缓冲器和三极管组成。