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Bei dem Verfahren zur schonenden Verdichtung von Gasen erfolgt die Verdichtung der Gase midestens zwei-, drei- oder mehrstufig mit Hilfe eines hermetisch dichten, spülbaren, trockenlaufenden. Z. B. werden Stickstoffmonoxid, Monosilan, Diboran, Phoshin, Fluor, Stickstofftrifluorid, Xenon, oder ein Gasgemisch mit einem dieser Gase verdichtet. Die Verdichtung in den Verdichtungsstufen des Kolbenkompressors erfolgt bei Temperaturen unterhalb von 195 DEG C. Vorteilhaft wird der Verdichtungsraum des mehrstufigen Kompressors gespült, indem der Verdichter mit Stickstoff beaufschlagt und der Kompressor, über eine steuerbare Drehzahlregelung auf geringe Leistung eingestellt, angefahren wird.
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