Beschichtungsvorrichtung und -verfahren,申请号DE19956018183T-传众专利搜索

发明名称	Beschichtungsvorrichtung und -verfahren
摘要
申请公布号	DE69518183(T2)	申请公布日期	2001.04.05
申请号	DE19956018183T	申请日期	1995.04.13
申请人	DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.;SHARP K.K., OSAKA	发明人	KINOSE, KAZUO;YONEZAWA, TAKESHI;OKETANI, TAIMI;YAMAMOTO, TOMOO
分类号	B05C11/08;B05D1/00;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/00	主分类号	B05C11/08
代理机构		代理人
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