| 发明名称 |
BELICHTUNGSSYSTEM UND BELICHTUNGSGERÄT FÜR UV-LITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69702641(T2) |
申请公布日期 |
2001.04.05 |
| 申请号 |
DE19976002641T |
申请日期 |
1997.02.13 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN |
发明人 |
BRAAT, JOHANNES |
| 分类号 |
G02B1/10;G02B5/08;G02B5/126;G02B5/28;G02B17/06;G02B17/08;G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/31;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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