| 发明名称 |
Anordnung zur Herstellung eines dünnen Schichtaufbaus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE20022159(U1) |
申请公布日期 |
2001.04.05 |
| 申请号 |
DE2000222159U |
申请日期 |
2000.05.19 |
| 申请人 |
ADVANCED PHOTONICS TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
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| 分类号 |
G02F1/1368;B05C9/06;B05C9/14;B05D1/40;B05D3/02;B05D7/00;(IPC1-7):B32B31/28;B32B31/12;B32B15/20;B32B35/00;H01L21/336;H01L21/324 |
主分类号 |
G02F1/1368 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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