| 发明名称 |
Beam homogenizer, laser illumination apparatus and method, and semiconductor device |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0905540(A3) |
申请公布日期 |
2001.04.04 |
| 申请号 |
EP19980307941 |
申请日期 |
1998.09.30 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
TANAKA, KOICHIRO |
| 分类号 |
G02B27/09;H01L21/20;(IPC1-7):G02B27/09;G02F1/136 |
主分类号 |
G02B27/09 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
