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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CLEANING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1088337(A1) 申请公布日期 2001.04.04
申请号 EP20000918167 申请日期 2000.03.20
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 ZHANG, LIMING;WELING, MILIND, G.
分类号 H01L21/306;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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