发明名称 Method for microetching copper or copper alloy
摘要
申请公布号 EP0757118(B1) 申请公布日期 2001.04.04
申请号 EP19960111792 申请日期 1996.07.22
申请人 MEC CO., LTD. 发明人 MAKI, YOSHIRO;NAKAGAWA, TOSHIKO;YAMADA, YASUSHI;HARUTA, TAKASHI;ARIMURA, MAKI
分类号 C23F1/18;C23G1/10;H01L21/308;H05K3/06;H05K3/28;H05K3/34;H05K3/38;H05K3/46;(IPC1-7):C23F1/18 主分类号 C23F1/18
代理机构 代理人
主权项
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