| 发明名称 |
METHODS AND APPARATUS FOR SCANNING AND FOCUSING AN ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1088325(A1) |
申请公布日期 |
2001.04.04 |
| 申请号 |
EP19990957111 |
申请日期 |
1999.05.25 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. |
发明人 |
OLSON, JOSEPH, C. |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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