带有保护栅的气体传感器、构成传感器的方法和传感方法

摘要

气体传感器确定在气体环境中的至少一种指定气体的存在。气体传感器包括半导体基片;放置在半导体基片上的薄绝缘层;放置在薄绝缘层上的催化金属栅;和放置在催化金属栅上的化学修改保护层。化学修改层包括对腐蚀气体和来自至少一种外来物质和水的干扰的防护的材料,改变传感器的至少一种表面化学性质和表面物理性质,以及只允许指定的气体通过。

主权项

1．被设计来检测气体的传感器，传感器包括：半导体基片；放置在半导体基片上的薄的绝缘层；放置在薄绝缘层上的催化的金属栅；以及放置在催化金属栅上的保护层，保护层包括提供对腐蚀气体和来自至少一种外来物质和水的干扰的防护的材料；其中保护层改变传感器的至少一种表面化学性质和表面物理性质，允许所指定的气体与催化金属栅层相互作用，以及减少以下的至少一种物质通过：除了指定气体以外的气体；水；和外来物质。