发明名称 HIGH VOLTAGE CABLE INTERLOCK CIRCUIT
摘要
申请公布号 EP1088377(A1) 申请公布日期 2001.04.04
申请号 EP19990957119 申请日期 1999.05.28
申请人 CYMER, INC. 发明人 NESS, RICHARD, M.;PARTLO, WILLIAM, N.;SANDSTROM, RICHARD, L.
分类号 H03K3/53;(IPC1-7):H01S3/00 主分类号 H03K3/53
代理机构 代理人
主权项
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