ACOUSTIC MIRROR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Der akustische Spiegel besteht im wesentlichen mindestens aus einer ersten isolierenden Schicht (Il'), einer darüber angeordneten ersten Metallschicht (M1'), einer darüber angeordneten zweiten isolierenden Schicht (I2') und einer darüber angeordneten zweiten Metallschicht (M2'). Auf der ersten isolierenden Schicht (I1') wird eine Hilfsschicht (H') erzeugt, in der eine bis zur ersten isolierenden Schicht (I1') reichende Vertiefung (V') erzeugt wird. Die erste Metallschicht (M1') wird ganzflächig abgeschieden und durch chemisch-mechanisches Polieren abgetragen, bis ausserhalb der Vertiefung (V') angeordnete Teile der ersten Metallschicht (M1') entfernt werden. Auch die zweite Metallschicht (M2') wird mit Hilfe von chemisch-mechanischem Polieren in einer Vertiefung (V') erzeugt. Es können mehr als zwei isolierende Schichten (I1', I2') und zwei Metallschichten (M1', M2') vorgesehen sein. Die erste Metallschicht (M1') und die zweite Metallschicht (M2') können in derselben Vertiefung (V') erzeugt werden.