| 发明名称 |
OPTIMIZATION OF SURFACE OF DIELECTRIC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661425(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19930137033 |
申请日期 |
1993.06.08 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
SAIRESHIYU CHITSUTEIPETSUDEI;UIRIAMU TOOMASU KOCHIRAN |
| 分类号 |
B65H1/00;G01B7/34;H01L21/3105;H01L21/66;H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
B65H1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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