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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0684846(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920237890 申请日期 1992.09.07
申请人 SHARP CORP 发明人 SHINOZAKI TOSHIYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/302;H01L29/784 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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