| 摘要 |
本发明之目的是提供一种半导体装置之外观检查装置及其检查方法，可以利用简单之构造，很容易的进行是否良好之判别。本发明之构造是该外观检查装置1之构成包含有；反射装置2，被配置在半导体装置10之至少之一侧面，和光学式读取机构3，用来一起读取经由该反射装置2被反射之半导体装置10之侧面之影像和平面侧之影像；该外观检查方法是在将反射装置2配置于半导体装置10之至少一侧面之后，利用一个之光学式读取机构3一起读取经由该反射装置2反射之半导体装置10之侧面之影像和平面侧之影像，根据该读取到之影像进行半导体装置10之引线12之弯曲之检查。 |
