| 摘要 |
<p>본 고안은 포토레지스트 코팅 캣치컵에 관한 것으로, 통형상을 가지고 상기 반도체 웨이퍼의 둘레에 소정의 차폐공간을 형성하도록 배치되며 상부영역에 상기 반도체 웨이퍼의 표면에 포토레지스트를 분사할 수 있게 개구가 형성되어 있는 몸체와; 상기 몸체의 내벽면으로부터 중앙영역으로 돌출되고 둘레방향을 따라 상호 이격배치되어 상기 반도체 웨이퍼로부터 비산되는 포토레지트가 상기 반도체 웨이퍼로 반사되어 재부착되는 것을 방지하는 복수의 포토레지스트재부착방지날개를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 반도체 웨이퍼로부터 비산된 포토레지스트가 반도체 웨이퍼에 재부착되는 것을 억제시킬 수 있으며, 구성이 단순하여 제작을 용이하게 할 수 있는 포토레지스트 코팅 캣치컵이 제공된다.</p> |
