| 摘要 |
<p>본 고안은 패턴 웨이퍼의 검사장치에 관한 것으로, 단일 성분의 크세논가스 속에서 일어나는 방전발광을 이용하는 크세논램프와; 상기 크세논램프의 일측에 배치되어 상기 크세논램프로부터 방사되는 빛의 세기를 조절하는 중성도필터와; 상기 중성도필터를 통과한 전자기파중에서 진행공정에 따른 웨이퍼의 색깔에 대응되게 선택되는 복수의 컬러필터를 갖는 컬러필터조립체와; 상기 컬러필터중 어느 하나를 통과한 빛의 양을 분할시키는 빔스프리터와; 상기 빔스프리터에 의해 일측방향으로 반사되어 상기 웨이퍼에 조사되는 빛을 집속시키는 대물렌즈와; 상기 빔스프리터의 상측에 설치되어 상기 웨이퍼로부터 반사되는 이미지를 확대시키는 마그네틱 체인저와; 상기 마그네틱 체인저의 상측에 설치되어 상기 웨이퍼의 결함을 관찰하는 시시디 리뷰카메라와; 상기 웨이퍼의 결함을 검출하는 티디아이센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 공정에 따른 웨이퍼의 색깔의 변화에 관계없이 웨이퍼의 파티클 및 패턴의 오류를 정확하게 검출할 수 있는 패턴 웨이퍼의 검사장치가 제공된다.</p> |
