| 主权项 |
1.深刻电铸模造制程技术的镍电铸溶液之组成物,其中包含浓度为每升0.2克至1.0克的丁二酸磺酸钠的二烷基酯润湿剂,其中烷基可为C5-C12之烷基或其混合物,除润湿剂与其他添加剂外,镍电铸溶液的组成份为(a)硫酸镍、胺基磺酸镍、氯化镍或其混合体的水溶性镍盐200-600克/升。(b)硼酸、醋酸、胺基磺酸、草酸、柠檬酸、酒石酸或其混合体的酸硷缓冲剂10-60克/升。2.如申请专利范围第1项之组成物,其中所述之其他添加剂可为应力消除剂、平滑剂、光泽剂及其混合体。3.如申请专利范围第2项之组成物,其中所述之其他添加剂的总浓度为每升零至20克。图式简单说明:第一图含0.6g/L戊烷酯之镍电铸液在52℃及12A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为1)的SEM影像图。第二图不含润湿剂之镍电铸液在52℃及2A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为1)的SEM影像图。第三图不含润湿剂之镍电铸液在52℃及6A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为1)的SEM影像图。第四图不含润湿剂之镍电铸液在52℃及8A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为1)的SEM影像图。第五图不含润湿剂之电铸液在52℃及12A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为1)的SEM影像图。第六图不含润湿剂之镍电铸液在52℃及10A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为2)的SEM影像图。第七图含0.1g/L戊烷酯之镍电铸液在52℃及10A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为2)的SEM影像图。第八图含0.2g/L戊烷酯之镍电铸液在52℃及10A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为2)的SEM影像图。第九图含0.3g/L戊烷酯之镍电铸液在52℃及10A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为2)的SEM影像图。第十图含0.5g/L己烷酯之镍电铸液在52℃及4A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为30)的SEM影像图。第十一图为第十图的SEM放大图。第十二图含0.5g/L己烷酯之镍电铸液在52℃及16A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为30)的SEM影像。第十三图为第十二图内的单一同心圆之SEM影像图。第十四图不含润湿剂之镍电铸液在52℃及1A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为30)的SEM影像图。第十五图不含润湿剂之镍电铸液在52℃及2A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为30)的SEM影像图。第十六图不含润湿剂之镍电铸液在52℃及16A/dm2时制得之镍微结构体(深宽比为30)的SEM影像图。 |
