METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE PROPERTIES OF A SAMPLE

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung von einer oder mehreren Eigenschaften einer Probe (10). Dabei werden ein oder mehrere modulierbare Messsignale (20,20A,20B) erzeugt, welche jeweils eine von einem oder mehreren Parametern der Probe (10) abhängige, zu ermittelnde Messgrösse enthalten. Die Messsignale (20,20A,20B) werden zur Erzeugung von Detektorsignalen (30) detektiert und die Messgrössen werden aus den so erzeugten Detektorsignalen (30) ermittelt. Die Messsignale (20,20A,20B) werden vor dem Detektieren einer Modulation mit bestimmten Modulationsparameten unterworfen. Die modulierten Messsignale (20,20A,20B) werden dann zeitlich integriert und Aussagen über die Messgrössen werden anhand der Detektorsignale (30) und der Modulationsparameter der Modulation der modulierten Messsignale (20,20A,20B) ermittelt.