发明名称 |
Verfahren zum Herstellen einer Substratstruktur mit verbesserter Wärmezerstreuung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69425854(T2) |
申请公布日期 |
2001.03.29 |
申请号 |
DE1994625854T |
申请日期 |
1994.06.27 |
申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
POLLOCK, RANDY L.;ANDERSON, GEORGE F. |
分类号 |
H01L23/12;H01L23/14;H01L23/36;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/373;H01L21/48 |
主分类号 |
H01L23/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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