发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Substratstruktur mit verbesserter Wärmezerstreuung
摘要
申请公布号 DE69425854(T2) 申请公布日期 2001.03.29
申请号 DE1994625854T 申请日期 1994.06.27
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 POLLOCK, RANDY L.;ANDERSON, GEORGE F.
分类号 H01L23/12;H01L23/14;H01L23/36;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/373;H01L21/48 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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