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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION FABRICATION OF HYBRID ELECTRODES FOR FERROELECTRIC DEVICE STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1086489(A1) 申请公布日期 2001.03.28
申请号 EP19990917554 申请日期 1999.04.15
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 ROEDER, JEFFREY, R.;BAUM, THOMAS, H.
分类号 C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/44;H01L21/441;H01L21/8246;H01L27/105;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
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