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发明名称 Method of forming a polycide layer in a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2314456(B) 申请公布日期 2001.03.28
申请号 GB19970012517 申请日期 1997.06.16
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 SUNG HEE * JUNG;CHUNG TAE * KIM
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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