一种电沉积坡莫合金薄膜工艺及其实施设备

摘要

一种电沉积坡莫合金薄膜工艺及其实施设备,属电化学的电沉积技术领域,控温水浴箱1把电沉积溶液24的温度控制在25～35℃,搅拌器3利用输运电沉积溶液24的自身动能进行溶液搅拌,电源4的正、负输出端直接跨接在液槽2的阳极23和阴极22,有节能、成品质量好和操作简便等优点,特别适于科研单位的实验室和工厂用来小批量生产高质量的坡莫合金薄膜。

主权项

1．一种电沉积坡莫合金薄膜工艺，在权利要求3所述的设备中实施，其特征在于，步骤：第一步置定工艺条件，控温水浴箱1的水温、搅拌器3的流量和电源4的电压分别在25～35℃、5000～15000毫升/小时和1.3～1.6伏的范围内任意置定；第二步安装电极，把纯Ni板和被沉积物，即导电体或表面镀有导电层的绝缘体分别悬挂于阳极23和阴极22；第三步配制电沉积溶液24，每升电沉积溶液24含Ni2+、Fe2+、H3BO3、NaCl和糖精钠分别为10～15克、0.1～0.4克、20～30克、20～30克和0.6～0.9克，用盐酸调节该溶液的pH值至1.5～3.5，把该溶液注满液槽2；第四步实施电沉积，控温水浴箱1上电，待水11的温度升至置定水温时，搅拌器3和电源4上电，坡莫合金薄膜均匀沉积于悬挂于阴极22的被沉积物的表面，薄膜沉积速率为400～2500埃/分；第五步成品，待上步所述薄膜的厚度满足要求时，控温水浴箱1、搅拌器3和电源4去电，从阴极22上取下被沉积物，得到成品，成品组分的Fe与Ni的重量比=17～23∶83～77。