发明名称 PLASMA GENERATION AND PLASMA PROCESSING OF MATERIALS
摘要
申请公布号 EP0923789(A4) 申请公布日期 2001.03.28
申请号 EP19980905937 申请日期 1998.01.06
申请人 TRUSI TECHNOLOGIES, LLC 发明人 SINIAGUINE, OLEG
分类号 H05H1/24;H05H1/40;H05H1/42;H05H1/44;H05H1/46;(IPC1-7):H01J7/24 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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