| 发明名称 |
VENTED LOWER LINER FOR HEATING EXHAUST GAS IN SINGLE WAFER REACTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1145861(A) |
申请公布日期 |
1999.02.16 |
| 申请号 |
JP19980137330 |
申请日期 |
1998.04.10 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
COMITA PAUL B;CARLSON DAVID K;RILEY NORMA B;FAN DORIA W;RANGANATHAN REKHA |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;C30B25/14;C30B31/16;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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