发明名称 LOW PRESSURE VAPOR PHASE DEPOSITION OF ORGANIC THIN FILMS
摘要
申请公布号 KR20010024652(A) 申请公布日期 2001.03.26
申请号 KR1020007005399 申请日期 2000.05.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
地址