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发明名称
VERFAHREN ZUM VERBINDEN SCHEIBENFÖRMIGER SUBSTRATE, INSBESONDERE WAFER
摘要
申请公布号
AT4207(U1)
申请公布日期
2001.03.26
申请号
AT19990000765U
申请日期
1999.11.05
申请人
THALLNER ERICH DIPL.ING.
发明人
分类号
H01L21/68;H01L23/32;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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