发明名称 VERFAHREN ZUM VERBINDEN SCHEIBENFÖRMIGER SUBSTRATE, INSBESONDERE WAFER
摘要
申请公布号 AT4207(U1) 申请公布日期 2001.03.26
申请号 AT19990000765U 申请日期 1999.11.05
申请人 THALLNER ERICH DIPL.ING. 发明人
分类号 H01L21/68;H01L23/32;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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