发明名称 DRIVINGLY ROTATABLE MECHANISM OF SPECIMEN LOADING TABLE AND SPECIMEN LOADING MECHANISM
摘要
申请公布号 KR20010024961(A) 申请公布日期 2001.03.26
申请号 KR1020007010645 申请日期 2000.09.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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