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发明名称 VERTICALLY-STACKED PROCESS REACTOR AND CLUSTER TOOL SYSTEM FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR20010023463(A) 申请公布日期 2001.03.26
申请号 KR1020007002107 申请日期 2000.02.29
申请人 发明人
分类号 C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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