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发明名称 INSULATED WAVEGUIDE AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20010024167(A) 申请公布日期 2001.03.26
申请号 KR1020007002936 申请日期 2000.03.20
申请人 发明人
分类号 H01P1/04;H01P3/12;H01P5/08 主分类号 H01P1/04
代理机构 代理人
主权项
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