APPARATUS AND METHOD FOR UTILIZING A PLASMA DENSITY GRADIENT TO PRODUCE A FLOW OF PARTICLES,申请号KR1020007004028-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR UTILIZING A PLASMA DENSITY GRADIENT TO PRODUCE A FLOW OF PARTICLES
摘要
申请公布号	KR20010024503(A)	申请公布日期	2001.03.26
申请号	KR1020007004028	申请日期	2000.04.14
申请人		发明人
分类号	C23C16/00	主分类号	C23C16/00
代理机构		代理人
主权项
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