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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR THE IN-SITU GENERATION OF DOPANTS
摘要
申请公布号 KR20010022638(A) 申请公布日期 2001.03.26
申请号 KR1020007001232 申请日期 2000.02.03
申请人 发明人
分类号 C30B23/02 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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