| 发明名称 |
METHOD FOR PLOYCRYSTALLIZING AMORPHOUS SEMICONDUCTOR FILM AND LASER ANNEALING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11251243(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980051072 |
申请日期 |
1998.03.03 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY IND LTD |
发明人 |
HAMADA SHIRO;ICHIJIMA DAIJI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
