发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11317453(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
申请号 |
JP19980272612 |
申请日期 |
1998.09.09 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
ASAHINA MICHIO;TAKEUCHI JUNICHI;MORIYA NAOHIRO;MATSUMOTO KAZUMI |
分类号 |
H01L21/203;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/203 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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