摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Detektion einer äusseren Grösse mit einem Substrat, mindestens einer Einrichtung auf dem Substrat zur Erzeugung akustischer Oberflächenwellen durch Anlegen einer Eingangsfrequenz, mindestens einer aktiven Fläche, die durch die Erzeugungseinrichtung mit akustischen Oberflächenwellen zur Wechselwirkung mit einer äusseren Grösse beschickt werden kann, und mindestens einer Einrichtung auf dem Substrat zum Empfang der Oberflächenwellen nach Durchlaufen des Wechselwirkungsfeldes, wobei die Oberflächenwellenerzeugungseinrichtung derart ausgestaltet ist, dass sich der Ausbreitungsbereich der Oberflächenwellen in der aktiven Fläche mit der Eingangsfrequenz ändert. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur ortsaufgelösten Detektion einer äusseren Grösse, bei dem akustische Oberflächenwellen über einen aktiven Bereich eines Substrates geschickt und detektiert werden, wobei Oberflächenwellen verschiedener Frequenzen andere Bereiche des aktiven Bereiches durchlaufen, der aktive Bereich lokal mit der äusseren Grösse in Wechselwirkung gebracht wird und eine Änderung von Parametern der Oberflächenwellen durch diese Wechselwirkung nachgewiesen wird.</p> |