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经营范围
发明名称
Einrichtung zum Halten von Halbleiter-Wafer
摘要
申请公布号
DE19882823(T1)
申请公布日期
2001.03.22
申请号
DE19981082823T
申请日期
1998.11.19
申请人
SUPER SILICON CRYSTAL RESEARCH INSTITUTE CORP., GUNMA
发明人
NAKAHARA, SHINJI;IMAI, MASATO;MAYUSUMI, MASANORI;INOUE, KAZUTOSHI
分类号
H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
主权项
地址
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