发明名称 晶片检测装置
摘要 一种晶片检测装置,乃包含旋转载台机构、夹持机构、顶伸机构及升降机构,该旋转载台机构上系设有二组夹持机构,该顶伸机构可开启位于上方之夹持机构,以供晶片置放并控制闭合而顶持晶片定位,该旋转载台机构即旋转变换二组夹持机构之摆设位置,将晶片置于侧方之升降机构的探针卡下方,该升降机构即下降位移令探针卡碰触晶片以进行检测作业,此时,该顶伸机构则再次控制位于上方之另一组夹特机构之启闭,而进行晶片之置放定位作业;藉此,可同步于旋转载台机构上进行置放及测试晶片之动作,进而有效减化并节省晶片之检测作业时间,达到大幅提升I C生产率之实用效益。
申请公布号 TW427552 申请公布日期 2001.03.21
申请号 TW088217159 申请日期 1999.10.06
申请人 魏仲助 发明人 魏仲助
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项 1.一种晶片检测装置,乃包含:旋转载台机构:系具有一载台,该载台并由一动力源控制旋转;至少二组之夹持机构:乃装设于载台上方,各具有一承置台,该承置台之相邻两侧乃分设一顶块,各顶块并分别装设于一导块上,各导块之相对侧各设有一与顶块呈适当角度间距之凸伸块,各凸伸块之前端并相互接触,且于相接处之内侧适当角度位置设有一顶杆,该顶杆之另端则贯穿载台开设之长孔而凸伸于下方,其侧方设有一凸轮,该凸轮下方设有一卡掣块,又该导块之下方设有一可使其位移之滑动组件,其侧方并连设一端固定于载台上之弹簧;顶升机构:系设于旋转载台机构之载台下方,乃具有一由驱动源控制之活塞杆,该活塞杆之顶端设有与上方夹持机构之卡掣块相互配合且卡掣连动之定位结构;升降机构:系设于旋转载台机构之另侧方,并具有一支撑架及滑座,该滑座乃设有与支撑架相互配合之滑动结构,且由驱动源控制升降位移,其横向板面并开设一孔洞供探针卡装设,该探针卡则位于另一组夹持机构之上方,以便进行检测作业。2.如申请专利范围第1项所述之晶片检测装置,其中,该旋转载台机构之动力源可为一马达,且该载台之下方可设有支撑块及机架。3.如申请专利范围第1项所述之晶片检测装置,其中,各夹持机构系可于承置台相邻之两侧分设一组顶块及导块,该顶块乃开设长槽供栓具穿置并锁固于导块之上方,以供调整顶块之凸伸长度,且导块下方设置之滑动组件可为一相互配合之滑块与滑座,该滑座可供导块固设于上,而滑块则固设于载台上,另各导块可横设一杆体与一端固设于载台上之弹簧衔接,而载台上并于杆体与承置台间设一挡杆。4.如申请专利范围第1项所述之晶片检测装置,其中,该夹持机构之顶杆一端系凸伸于载台下方,并穿过一固设于载台底面之摆动杆侧端,而衔接一块体,且摆动杆之侧面并连接一弹簧,另该凸轮之周面系开设若干缺口可供顶杆衔接之块体嵌置定位。5.如申请专利范围第1项所述之晶片检测装置,其中,该顶升机构定位杆之驱动源可为一旋转缸,而定位结构则系于定位杆之顶端设一定位块,并于夹持机构之卡掣块底面开设可供嵌置相互配合之凹槽,又该旋转载台机构之机架并可开设孔洞供定位杆穿置而升降作动。6.如申请专利范围第1项所述之晶片检测装置,其中,该升降机构之滑座可于直立板面上设一顶杆,该顶杆之侧方并设一凸轮,该凸轮由固设于支撑架上之马达驱动,以顶推顶杆而带动滑座升降位移。7.如申请专利范围第1项所述之晶片检测装置,其中,该升降机构之滑动结构系可于支撑架上设滑块,而滑座之相对应位置则设有滑槽,且该支撑架之侧面系设有一顶块,而滑座之同向侧面则设有一顶杆,该顶杆之凸伸端可顶抵于顶块上,以凸伸调整所固设之滑座升降位移。8.如申请专利范围第1项所述之晶片检测装置,该升降机构之支撑架可固设于一滑动基座之上方,设滑动基座系由数块分别作相对运动之板块所组成,其中,该上层板块之顶面可供支撑架固设,而底面则凹设一滑槽与中层板块顶面之滑块相互配合,该中层板块之底面则开设不同方向之滑槽与下层板块顶面之滑块相互配合,而下层板块则可固设于机架上。9.如申请专利范围第8项所述之晶片检测装置,其中,该上层板块之侧面系设有一顶块,而中层板块之同向侧面则设有一顶杆,该顶杆之凸伸端并可顶推顶块,以调整上层滑块位移,又该中层板块之另侧面则设有一顶块,而下层板块之同向侧面则设有一顶杆,该顶杆之凸伸端并可顶推顶块,以调整中层板块位移。图式简单说明:第一图:本创作之立体示意图。第二图:本创作夹持机构之示意图。第三图:本创作夹持机构另面之示意图。第四图:本创作夹持机构之平面示意图。第五图:本创作升降机构之示意图。第六图:本创作顶升机构活塞杆上升嵌合之示意图。第七图:本创作活塞杆旋转180度之示意图。第八图:本创作夹持机构开启之示意图。第九图:本创作活塞杆反转180度之示意图。第十图:本创作夹持机构闭合之示意图。第十一图:本创作旋转载台机构之作动示意图。第十二图:本创作升降机构下降动作示意图。第十三图:本创作旋转载台机构之再次作动示意图。
地址 台中市北区武昌路十五号
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