发明名称 半导体芯片的固定方法和固定装置
摘要 将半导体芯片(1)固定到具有焊料部分(2)的基底(3)上,由弹性固定到接合头(4)上的夹具(5)夹持的半导体芯片(1)被降低到基底(3)上。在此过程中,夹具(5)偏离接合头(4)。随后,半导体芯片(1)上升预定距离,接着被释放。可选择地,在被释放前使半导体芯片(1)向上和向下移动。用这种方法,半导体芯片(1)处于机械控制状态下直到焊料(2)形成一种稳定的形式并且半导体芯片(1)达到其最终位置。
申请公布号 CN1288259A 申请公布日期 2001.03.21
申请号 CN00126458.3 申请日期 2000.09.01
申请人 ESEC贸易公司 发明人 克里斯托弗·鲁琴格;马可斯·利玛彻
分类号 H01L21/58;B23K3/06 主分类号 H01L21/58
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种将半导体芯片(1)固定到具有焊料部分(2)的基底(3)上的方法,其特征在于包括以下步骤:a)在支持件(9)上设置基底(3);b)通过弹性固定在接合头(4)上的夹具(5)夹持半导体芯片(1);c)将半导体芯片(1)降到基底(3)上,从而夹持半导体芯片(1)的夹具(5)朝向接合头(4)偏离;d)将半导体芯片(1)上升预定距离;e)释放半导体芯片(1);以及f)移开接合头(4)
地址 瑞士卡姆
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