发明名称 Method for mounting and demounting a semiconductor wafer, and material suited for this method
摘要
申请公布号 EP0924759(B1) 申请公布日期 2001.03.21
申请号 EP19980123049 申请日期 1998.12.08
申请人 WACKER SILTRONIC 发明人 RURLAENDER, ROBERT;FRANZE, NORBERT;MANGS, FRANZ;SCHNEGG, ANTON
分类号 C09J193/00;H01L21/304;H01L21/58;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 C09J193/00
代理机构 代理人
主权项
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